| 基本信息 | 姓名 | 昌锡江 |
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| 系别 | 应用物理系 |
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| 职称 | 教授 |
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| 职务 | 教师 |
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| 联系方式 | 见学院黄页 |
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| 电子邮件 | changxj@dhu.edu.cn |
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| 研究方向 | 低温等离子体物理及应用，半导体加工装备。 |
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| 个人简介 | 研究方向为低温等离子体物理，等离子体源及诊断。对各种等离子体源均有涉及，目前主要方向是微波等离子体及其相关的应用。在半导体设备领域有多年从业经验，曾以顾问身份参与华为战略性项目，任等离子体领域首席专家。欢迎有兴趣的同学了解实验室，同时对各专业的同行发出合作邀请。 |
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| 学习经历 | 起止年月 | 学校 | 专业 | 学位/学历 |
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| 2010/10-2013/09 | 静冈大学（日本） | 纳米显示工学 | 工学博士 |
| 2006/09-2013/04 | 复旦大学 | 物理电子学 | 理学博士 |
| 2002/07-2006/07 | 清华大学 | 工程物理 | 工学学士 |
| 工作经历 | 起止年月 | 单位 | 职称/职务 |
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| 2023/09-至今 | 东华大学 | 教授 |
| 2019/07-2023/08 | 东华大学 | 副教授 |
| 2016/05-2019/06 | 上海工程技术大学 | 副教授 |
| 2015/03-2016/05 | 北京北方微电子 | 项目经理 |
| 2013/10-2015/01 | 东北大学（日本） | 研究员 |
| 教学成果 | 课程名称 |
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| 主讲“大学物理”、“集成电路器件与工艺”、“微波与电磁场”、“专业英语”等课程。 |
| 科研成果 | 研究名称 |
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| 主持自然科学基金面上项目、青年项目，企业横向课题多项。发表SCI论文三十余篇，授权/实审的发明专利十余项。 |
